Sekepe sa go Hlwekiša sa Quartz Wafer
Sekepe sa go hlwekiša wafer ya quartz ke sedirišwa seo se šomišwago go hlwekiša wafer tshepedišong ya go dira semiconductor.
Thepa: 99,99% quartz
Tlhalošo
Dibopego
- Kganetšo ya themperetšha ya godimo
- Kganetšo ya tšhilafalo
- Apara go ganetša
- Go bonolo go hlwekiša
Tšhomišo: tloša ditšhila tša godimo
Netefatša boleng bja tšweletšo ya ditšhipi tša semiconductor.
Kgopelo
1. Pele ga -Tlhokofatšo ya Phatlalatšo
E šomišwa go sepetša di-wafer ka magato a go hlwekiša panka ye e kolobilego goba ya go inela (mohlala, go hlwekiša ka RCA) go tloša ditšhila tša organic, metallic, le dikarolwana pele ga ditshepedišo tša phatlalatšo ya themperetšha ya godimo goba ya oxidation.
2. Post-CMP (Khemikhale Mechine Planarization) Hlwekiso
E swara di-wafer nakong ya go hlwekiša ka morago ga -go phopholetšwa go fediša mašaledi a slurry le diphošo tša bokagodimo, go netefatša go bataletšego mo go loketšego bakeng sa megato ya lithography ye e latelago.
3. Ka pele-Mafelelo-a-Tlhamo ya Mola (FEOL).
E thwetšwe ka dikgatong tše bohlokwa tša go hlwekiša FEOL moo bokagodimo bjo bo hlwekilego kudu bo nyakegago bakeng sa kgolo ya oksaete ya kgoro, go bewa ga epitaxial, goba go tsenywa ga ion.
4. Morago-Mafelelo-a-Tshepetšo ya Mola (BEOL).
E thekga di-wafer nakong ya go hlwekiša ka morago ga -etch goba ka morago ga-deposition go tloša photoresist, ditšweletšwa tša ka thoko tša etch, le ditšhila tša tšhipi ka morago ga go bopša ga kgokagano.
5. Go phuthela ga maemo a godimo
E nolofatša go hlwekiša ga maemo a wafer- pele ga go dira di-dicing goba go kgokagana ka gare ga diphuthelwana tša 2.5D/3D IC, go netefatša gore go na le tšhilafalo-didirišwa tša go se lefelwe bakeng sa dikgokagano tše di ka botwago.
6. Tšweletšo ya Photovoltaic
E šomišwa ka tšweletšong ya disele tša letšatši go hlwekiša disubstrate tša silicon, go godiša boleng bja godimo bakeng sa go monya seetša mo go kaonafetšego le bokgoni bja phetošo ya maatla.
Dithoto
|
Dithoto tša Mmele |
Ditekanyetšo |
|
Bohlweki |
＞99.99% |
|
Kitlano |
2.2g / cm3 |
|
Go ba pepeneneng |
＞90% |
|
Mohs Go thatafala |
5.5--6.5 |
|
Ntlha ya Deformation |
1280 tekanyo e |
|
Ntlha ya go Nolofatša |
1750 tekanyo e |
|
Ntlha ya go Hlatswa |
1250 tekanyo e |
|
Mogote o Itšego (20 - 350 tekanyo ) . |
670J / kg. tikrii |
|
Mogote Conductivity (20 tekanyo ) . |
1.4W / m . tikrii |
|
Mocheso Conductivity (w / mk, 1000 tekanyo e ) . |
1.0-1.2 |
|
Tšhupetšo ya go Kgopamiša |
1.4585 |
|
Segokanyipalo sa Katološo ya Mogote |
5.510 -7cm / cm. tikrii |
|
Hot - sebetsa Thempheretšha |
1750--2050 tekanyo ya |
|
Thempheretšha ya Tirelo ya nako ye kopana ya - |
1450 tekanyo e |
|
Thempheretšha ya Tirelo ya nako ye telele ya - |
1100 tekanyo e |
|
Dithoto tša Dikhemikhale |
Ditekanyetšo |
|
E thibela esiti |
Acid e matla(ntle le HF),Alkali e matla, tharollo ya manyolo |
|
Dithemperetšha tše di phagamego E thibela tšhilafalo |
Gabotse kudu |
|
Diteng tša Tšhila ya Tšhipi |
<5 ppm ya |
|
Dithoto tša Mohlagase |
Ditekanyetšo |
|
Go ganetša |
7107Ω.cm e le |
|
Matla a Insulation |
250 ~ 400Kv / cm |
|
Dielectric Constant ya go se fetoge |
3.7~3.9 |
|
Dielectric Monya Segokanyipalo |
＜410-4 |
|
Segokanyipalo sa Tahlegelo ya Dielectric |
＜110-4 |
|
Dithoto tša Metšhene |
Ditekanyetšo |
|
Matla a Kgateletšo |
1100MPa ya go swana le |
|
Matla a go koba |
67MPa |
|
Matla a go goga |
48MPa |
|
Tekanyo ya Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modulus wa Young |
72000MPa e le nngwe |
|
Modulus wa go kuta |
31000MPa e le |
Mekgwa ya go hlwekiša
Go hlwekiša ka go inela: .
Bea wafer ka seketswaneng sa go hlwekiša, ke moka o inele seketswana sa go hlwekiša ka gare ga seela sa go hlwekiša, gomme o oketše kgokagano magareng ga seela sa go hlwekiša le bokagodimo bja wafer ka go emiša seketswana sa wafer go kaonafatša mafelelo a go hlwekiša.
Go hlwekiša ka go gaša: .
Ema seketswana sa go hlwekiša se eme thwii ka phapošing ya go gaša, gomme o šomiše nozzle go gaša seela sa go hlwekiša godimo ga wafer go tloša ditšhila. E
Bohlokwa bja go hlwekiša dikepe:
- Netefatša bohlweki bja wafer: Bokagodimo bjo bo hlwekilego bja wafer bo bohlokwa kudu go boleng bja tšweletšo ya ditšhipi tša semiconductor, gomme seketswana sa go hlwekiša se kgatha tema ye bohlokwa tshepedišong ya go hlwekiša.
- Netefatša go botega ga ditšhipi tša semiconductor: Netefatša go botega ga ditšhipi le go fokotša diphošo tša setšweletšwa ka go tloša ditšhila tša godimo.
- Kaonafatša poelo ya ditšhipi tša semiconductor: Kaonafatša bohlweki bja di-wafer, ka go realo o kaonafatša poelo ya ditšhipi tša semiconductor.
Dithegi tše di fišago .: quartz wafer hloekisa sekepe, China quartz wafer hloekisa sekepe bahlahisi, bafepedi, fektheri
Romela potšišo .
O ka rata gape .
