Tshepetšo ya tšweletšo ya filimi ya go lwantšha go bonagatša .

Tshepedišo ya theknolotši .
Fana ka didirišwa tša kgolo le methopo ya khase: fana ka didirišwa tša kgolo ya filimi ya go lwantšha go bonagatša, go swana le SIO ka diphetolelong tše dingwe, mola e fana ka methopo ya khase yeo e sepelelanago le didirišwa tša kgolo, go swana le SIH ₄, N ₂ O, le N ga metswako ya mohlodi wa khase.
Sebopego sa Anti Reflection Layer: Diriša sedirišwa sa kgolo se se swanago go bopa ka tatelano bonyane dikarolo tše pedi tša anti reflection tša filimi ya anti reflection godimo ga legato la substrate. Lera la substrate le ka akaretša lera la SIO, legato la SI, le legato la go monya ka tatelano go bapa le tlhahlo ya kgolo ya filimi. Ho nka tse peli-lera anti nahanisisa lera (pele khahlanong le reflection lera le bobeli anti nahanisisa lera) e le mohlala, e thehoa ke epitaxial kgolo tshebetso (joaloka plasma ntlafatsoa lik'hemik'hale mouoane deposition mokgwa wa PECVD). Megato ye e itšego ke ye e latelago:
Tshepetšo ya Substrate: Ka morago ga tshepedišo ya go hlwekiša ya semiconductor godimo ga legato la substrate, bea legato la substrate godimo ga didirišwa tša go bea CVD.
Dipeakanyo tša Paramethara ya Didirišwa: Laola themperetšha ya ka godimo ya eleketorode ya didirišwa tša go bea CVD go fihla go 200-300 tekanyo le themperetšha ya ka fase ya eleketorode go fihla go 250-350℃.
Kgolo ya lera la pele la anti reflection: Beha ditekanyetso tsa pele tsa deposition tsa thepa ya CVD deposition, ho akarelletsa le sekhahla sa pele sa phallo sa bophahamo ba modumo sa SIH ₄, n ₂ O, le n ₂, khatello ea pele ea khase, matla a pele a RF a thepa ea CVD, e tšesaane ea pele e behiloeng nako, jwalo, joalo-joalo, ho hōla lera la pele la 10- le e botenya ea e ka e botenya ea e botenya ba e botenya ba e botenya ba 10-. 1.4-1,71.
Kgolo ya lera la bobedi la go lwantšha go bonagatša: Beakanya ditekanyetšo tša bobedi tša go bewa ga didirišwa tša go bewa ga CVD, go akaretšwa seelo sa go ela sa bophagamo bja bobedi sa SIH ₄, n ₂ O, le n ₂, kgatelelo ya bobedi ya khase, maatla a bobedi a RF a didirišwa tša go bewa tša CVD, nako ya bobedi ye sesane ya go bea nako, goba kopanyo efe goba efe ya yona, ka legato la bobedi la go bonagatša, ka 100 ya bobedi go 100 go ya go lera la bobedi la go bonagatša, ka lera la bobedi la go bonagatša go 10. Refractive index fapaneng ya 1.4-1.71.

Mehola ya Theknolotši .
Ka go šomiša didirišwa tša kgolo tše di swanago, filimi ya Anti Reflection e ka fihlelela seabe se se swanago sa go lwantšha go naganišiša ge se bapetšwa le difilimi tša go lwantšha go bonagatša tša didirišwa tše di fapanego, go fokotša mehuta ya methopo ya khase ye e šomišitšwego, go fokotša bothata bja tshepedišo ya go lokišetša, le go oketša sekgoba sa go lokišetša le lefelo la mošomo ka lebaka la polokelo le tšhomišo ya methopo ya khase nakong ya tshepedišo ya go lokišetša.

Tshepetšo ya tšweletšo ya motswako wa SIO ₂/Tio ₂ Anti Reflective Film .

Tshepedišo ya theknolotši .
Go lokišetša substrate: Kgetha disubstrate tše di bonagalago go swana le galase, khalase ya organic, filimi ya polyimide, bjalobjalo, gomme o dire kalafo ya go tloša letheba go netefatša bokagodimo bjo bo hlwekilego le bjo bo se nago lerole. Ge go nyakega, go phopholetšwa ga lehlakore le tee goba la mahlakore a mabedi go ka dirwa go kaonafatša bokgoni bja phetišetšo ya seetša.
Go lokišetša filimi ya selelekela: tetraethoxysilane (TEOS) le tetrabutyl titanate (TBT) di tlaleletšwa go ethanol yeo e nago le NH ₄ OH ka karolo ye e itšego, gomme karabelo e swarwa diiri tše 9-12 go hwetša tshepedišo ya sol - gel ye e bonagalago.
Go tlotša le go fodiša: Tshepedišo ya gel ya sol ye e lokišitšwego e tloditšwe ka go lekana godimo ga substrate ye e bonagalago, gomme go tlotša go dikologa, go gaša, go boraša le maano a mangwe go ka šomišwa. Ka morago ga go tlotša, motswako wa SIO ₂/Tio ga Filimi ya pele e bewa ka ontong bakeng sa go fodiša le kalafo ya go tšhuma, e bopa sebopego sa legato le legolo.
Sediko tlotsa: Boeletša go tlotša le go fodiša tshepedišo go fihlela e nyakegago anti reflective phello e hwetšwa. Dinako tše di fapanego tša go tlotša le tatelano di tla ama tshepedišo ya difilimi tša go lwantšha go bonagatša, gomme dinyakišišo le go dira gore di šome gabotse di a nyakega.
Kalafo ya Bokagodimo: Go oketša go swarelela le go tsepama ga filimi ya go lwantšha go bonagatša, legato la polymer ya hydrophilic le hydrophobic le ka tlotšwa godimo ga filimi ya go lwantšha go bonagatša.

Tšweletšo tshepedišo ya infrared anti reflective filimi .
Tshepedišo ya theknolotši .
Filimi ya infrared ya anti reflection e theilwe godimo ga silicon gomme e tloditšwe ka difilimi tša anti reflection ka mahlakoreng ka bobedi a substrate. Sebopego sa tshepedišo ya filimi ya filimi ya go lwantšha go bonagatša se ikemetše go e nngwe le e nngwe bjalo ka (HL) ^ s, moo H e emelago legato la SI, L e emelago legato la SiO, S e emela nako ya sebopego sa motheo sa HL, gomme boleng bja S ke palomoka magareng ga 3-6. Llaga ya SI e bapile le substrate, gomme legato la SIO le hwetšwa godimo ga bokagodimo. Tshepetšo ya go tlotša e šomišwa go kgomaretša legato la filimi go substrate, ka legato la filimi la SIO bjalo ka legato la ka ntle, leo le nago le thata ya godimo gomme ga le nyake legato la tlaleletšo la tšhireletšo. Go tlaleletša, SIO e na le tšhupamabaka ya fase ya refractive, yeo e ka fokotšago go bonagatša ga bokagodimo le go oketša gape phetišetšo ya infrared.

tlhahiso tshebetso ya phahameng-thempereichara manganga CO ₂ tham mong bang laser anti reflective filimi .
Tshepedišo ya theknolotši .
Material Pre melting: Arohaneng Pre melting kalafo e phethahatsoa ka yttrium fluoride, khalsiamo yttrium fluoride, le zinki selenide filimi thepa ho tlosa litšila ka hare ho thepa filimi.
Deposition filimi lera: pele yttrium fluoride lera, yttrium khalsiamo fluoride lera, zinki selenide lera, le bobeli yttrium fluoride lera ba sequentially beha ka zinki selenide substrate lera le botenya ba 3 ± 0.1mm ke vacuum evaporation. Lefelo la khupetšo la legato le lengwe le le lengwe le feta 95% ya lefelo la bokagodimo bja legato la substrate. Dinyakwa tša botenya bja mmele bja legato le lengwe le le lengwe ke tše di latelago: Botenya bja mmele bja legato la mathomo la yttrium fluoride ke di-nanometer tša 95-100; Botenya bja mmele bja legato la ytterbium calcium fluoride ke di-nanometer tša 860-870; Botenya bja mmele bja legato la zinki bja selenide ke di-nanometer tša 240-250; Botenya bja mmele bja legato la bobedi la Yttrium fluoride ke di-nanometer tša 95-100.
 

Mehola ya Theknolotši .
The lokisetsa anti nahanisisa lera le na le sebopeho bonolo le moralo e hlollang. Motswako wa lera le nne o na le dimelo tša go ganetša themperetšha ya godimo, phetišetšo ya godimo, legato la lera le le tiilego, kgatelelo ya tlaleletšo magareng ga magato a membrane, le go se phatloge ga magato a membrane. E ka kopana le tshebetso e tsoelang pele ya dikarolo tlas'a maemo a phahameng mocheso, 'me thepa e sebediswa ka lera le leng le le leng ke non radioactive, e leng ke ke ba baka tshenyo ho basebetsi le tikoloho.